EPI 800HPN High Purity: đồng hồ đo lưu lượng khí siêu sạch cho ngành bán dẫn và hiển thị

Xuất xứ: USA - Mỹ  |  Giá: Liên hệ: 0342 099 990

EPI 800HPN High Purity là dòng đồng hồ đo lưu lượng khí inline độ tinh khiết cao thuộc nền tảng Master-Touch™ của hãng EPI (Eldridge Products, Mỹ) — được hãng khuyến nghị chính thức cho các ngành Semiconductor và Display, dược phẩm, công nghệ sinh học, thực phẩm và đồ uống. Cảm biến kiểu VCR tháo lắp và vệ sinh dễ dàng, bề mặt tiếp xúc khí electropolished 10 Ra hoặc 25 Ra, đầu nối butt weld (tùy chọn Tri-Clamp, male VCR 1/2"–1") — đúng chuẩn kết nối của hệ khí sạch.

Đồng hồ EPI 800HPN High Purity với vỏ Type 4X/IP66 và màn hình LCD (ảnh: epiflow.com)

1. Tổng quan dòng 800HPN

Series 800HPN thuộc nhóm PURE của EPI: đồng hồ inline đo lưu lượng khí cho các phân khúc Ultra High Purity (UHP) và High Purity (HP) yêu cầu đồng hồ sạch, vệ sinh. Theo tài liệu hãng, đây là giải pháp lý tưởng cho đo lưu lượng khí trong các ngành UHP/HP và được khuyến nghị sử dụng cho Semiconductor và Display, dược phẩm, công nghệ sinh học, thực phẩm và đồ uống.

Thiết kế phục vụ khí sạch đến từng chi tiết: cảm biến kiểu VCR với phần tử cảm biến đặt trực tiếp trong dòng khí để dễ tháo lắp và vệ sinh; bề mặt ướt electropolished 10 Ra hoặc 25 Ra; lắp đặt bằng đầu nối butt weld (tùy chọn Tri-Clamp hoặc male VCR cho tube 1/2"–1"); tấm điều hòa dòng đầu vào tùy chọn cho ống 3/4"–6". Vỏ đạt Type 4X/IP66 với màn hình LCD 2 dòng x 16 ký tự và bàn phím 4 nút.

2. Đặc điểm kỹ thuật

• Hãng chỉ định cho Semiconductor và Display: dòng PURE được EPI khuyến nghị chính thức cho bán dẫn/hiển thị, dược phẩm, công nghệ sinh học, F&B.
• Cảm biến kiểu VCR: tháo lắp và vệ sinh dễ dàng — phần tử cảm biến đặt trực tiếp trong dòng khí, thuận tiện bảo trì hệ khí sạch.
• Bề mặt electropolished: bề mặt tiếp xúc khí đánh bóng điện hóa 10 Ra hoặc 25 Ra — giảm bám bẩn và tồn dư, đúng yêu cầu UHP/HP.
• Đầu nối chuẩn khí sạch: butt weld tiêu chuẩn; tùy chọn Tri-Clamp hoặc male VCR cho tube 1/2"–1".
• Tấm điều hòa dòng tùy chọn: cho ống 3/4"–6" — ổn định profile dòng trước điểm đo.
• Đo khối trực tiếp, turndown 100:1: không cần bù nhiệt độ/áp suất; một đồng hồ vừa đo tải đầy vừa bắt được dòng rò rỉ thấp — lý tưởng cho kiểm toán rò rỉ N₂/CDA.
• Tích hợp BMS/FMCS/SCADA: ra 0–5 VDC và 4–20 mA, RS232/RS485 Modbus RTU, BACnet — giao tiếp trực tiếp với hệ thống quản lý tòa nhà và điều khiển nhà máy.
• Hiệu chuẩn NIST, lặp lại ±0.2% FS: đủ tin cậy cho đối soát tiêu thụ nội bộ và tính toán phân bổ chi phí năng lượng.

3. Bảng thông số kỹ thuật

Cảm biến kiểu VCR tháo lắp và vệ sinh dễ dàng (ảnh: epiflow.com)

4. Ứng dụng điển hình

• Giám sát phân phối N₂: đo tổng và theo nhánh nitrogen (purge/inerting) tại nhà máy OSAT, fab — phát hiện rò rỉ, lập baseline tiêu thụ, phân bổ chi phí.
• Giám sát CDA/khí nén khô: đo tại đầu ra máy nén và từng khu vực sản xuất — kiểm toán rò rỉ khí nén (chi phí rò rỉ có thể lên tới hàng trăm nghìn USD/năm theo tài liệu hãng).
• Khí quy trình tiện ích: đo lưu lượng các khí tiện ích cấp cho cụm thiết bị trong nhà máy bán dẫn, điện tử, dược phẩm.
• Nhà máy dược phẩm, F&B: đo khí nén, CO₂, N₂ bao gói trên các đường ống yêu cầu vệ sinh cao.
• Tích hợp BMS/FMCS: tín hiệu Modbus RTU/BACnet đưa số liệu trực tiếp vào hệ thống quản lý năng lượng và giám sát nhà máy.

5. Vận hành và lưu ý

1. Xác định đúng vị trí đo: 800HPN dùng cho đo tiện ích/phân phối — điểm điều khiển trực tiếp tại tool quy trình cần MFC chuyên dụng (Brooks, Horiba), không dùng 800HPN.
2. Chọn đầu nối: butt weld tiêu chuẩn; hệ ống hiện hữu dùng Tri-Clamp hoặc tube VCR 1/2"–1" thì đặt tùy chọn tương ứng ngay từ đầu.
3. Tấm điều hòa dòng: với ống 3/4"–6" và profile dòng chưa ổn định, nên đặt thêm tấm điều hòa dòng đầu vào tùy chọn.
4. Tận dụng turndown 100:1: đừng oversize — một đồng hồ vừa đo tải đầy vừa bắt rò rỉ thấp, tối ưu chi phí đầu tư cho mạng lưới điểm đo tiện ích.
5. Vệ sinh cảm biến: cảm biến kiểu VCR tháo lắp dễ — lên lịch vệ sinh phù hợp với yêu cầu độ sạch của hệ khí.

6. Các mã/dòng tham khảo khác

Ngoài dòng 800HPN, EPI còn có các dòng liên quan để tham khảo:

• EPI đo N₂/CDA nhà máy bán dẫn — bài ứng dụng: giám sát nitrogen và khí nén khô trong fab/OSAT
• 800HPX High Purity — dòng UHP/HP tương tự 800HPN (lưu ý: chứng nhận HAZ đang chờ hãng xác nhận)
• EPI kiểm toán rò rỉ khí nén — bài ứng dụng: thu hồi vốn nhanh nhờ turndown 100:1
• ValuMass™ 400 — bản kinh tế cho nhà máy cần nhiều điểm đo khí nén/N₂
• Electronics rời (remote) — tùy chọn tách hộp hiển thị cho điểm đo khó tiếp cận

Liên hệ 0342 099 990 để được tư vấn chọn mã 800HPN theo kích thước ống, đầu nối và yêu cầu độ sạch của hệ khí.

7. Câu hỏi thường gặp

800HPN có thay thế được MFC tại tool quy trình không?

Không. 800HPN là đồng hồ đo lưu lượng cho phân khúc tiện ích và phân phối khí (giám sát N₂, CDA, phân bổ tiêu thụ, phát hiện rò rỉ). Điều khiển lưu lượng trực tiếp tại tool quy trình cần mass flow controller (MFC) độ chính xác cao chuyên dụng (phân khúc của Brooks, Horiba). Dùng đúng vị trí giúp tránh đầu tư sai và đảm bảo yêu cầu quy trình.

Vì sao bề mặt electropolished và đầu nối VCR quan trọng với khí sạch?

Bề mặt electropolished 10 Ra hoặc 25 Ra giảm bám bẩn và tồn dư hạt trên bề mặt tiếp xúc khí — yêu cầu bắt buộc của hệ UHP/HP. Đầu nối VCR/butt weld/Tri-Clamp là chuẩn kết nối của hệ khí sạch, đảm bảo kín khít và cho phép tháo lắp, vệ sinh cảm biến dễ dàng mà không làm nhiễm bẩn đường ống.

Mua đồng hồ EPI 800HPN ở đâu?

Liên hệ TMP Equipment qua hotline 0342 099 990 (Zalo/WhatsApp) hoặc email sale12@tmpvietnam.com để được tư vấn chọn mã theo kích thước ống, đầu nối, yêu cầu độ sạch và báo giá chính hãng từ Mỹ.

Trang sản phẩm chính thức của hãng: EPI — Thermal Mass Flow Meters (epiflow.com)