Lưu lượng kế Flow meter 9861-Brooks Instrument Vietnam-TMP Vietnam

Chia sẻ:
Số lượng
Yêu cầu gọi lại
số điện thoại

Features

  • Ultra-stable patented IsoSensor™ flow measurement sensor
  • Ultra-high purity flow path
  • Remote electronics come standard with two analog electrical connectors
  • Digital measurement and control architecture

Benefits

  • High stability sensor delivers superior uptime, reducing maintenance and lowering total cost of ownership
  • All-metal wetted flow path ensures integrity and purity of gas/vapor
  • Included 20 pin card edge and a 9 or 15 pin “D” connector enables standardization and reduces inventory
  • Enhanced accuracy and process control

Applications

  • Optical fiber manufacturing - MCVD
  • Silicon semiconductor device fabrication processes
9861
Flow Range (Full Scale Capacity) 3 sccm - 10 slm (N2 equivalent)
Surface Finish 4µ inch Ra
Accuracy

±1% SP @ 35 - 100% FS

±0.35% FS @ <35% FS

Repeatability < ±0.15% FS
Response Time

≤ 1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Diagnostic Capability
Analog Communication

0-5 Vdc

Digital Communication

RS485L Protocol

Hãy liên hệ với chúng tôi để được tư vấn và hỗ trợ - Brooks Instrument Vietnam - TMP Vietnam

Lưu lượng kế Flow meter 9861-Brooks Instrument Vietnam-TMP Vietnam

Danh mục sản phẩmDanh mục sản phẩm
Hỗ trợ trực tuyến
Liên hệ tư vấn mua hàng
Dịch vụ của chúng tôi
Thống kê truy cập
  • Trực tuyến:
    1
  • Hôm nay:
    285
  • Tuần này:
    1496
  • Tháng trước:
    4199
  • Tất cả:
    132007
Video ClipVideo Clip
CÔNG TY TNHH THƯƠNG MẠI VÀ DỊCH VỤ TĂNG MINH PHÁT

 VPĐD: 602/41E, Điện Biên Phủ, P.22, Q.Bình Thạnh, Tp.HCM

 Ðiện Thoại:  (028) 35121007                Fax: (028) 35121008

 Nhân viên kinh doanh: Hai (Mr.)

 Email:  sale12@tmpvietnam.com        Tel:  0978.563.970

 VP tại Đức: Am Boscheler Berg 4a 52134 Herzogenrath

 Website: avantgarde-x.de

Thông tin bottom 2
Thông tin bottom 3

© 2017 Tangminhphat.com, all right reserved.

Thiết kế website www.webso.vn

Loading...

Back To Top